ELID研削を施した軽量ミラー材の表面性状評価

戴 玉堂; 大森 整; 渡辺 裕; 林 偉民; 鈴木 亨; 惠藤 浩朗; 牧野内 昭武

doi:10.11522/pscjspe.2003S.0.342.0

2003年度精密工学会春季大会

セッションID: G19

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2003S.0.342.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

ELID研削（4）

ELID研削を施した軽量ミラー材の表面性状評価

*戴玉堂, 大森整, 渡辺裕, 林偉民, 鈴木亨, 惠藤浩朗, 牧野内昭武

著者情報

キーワード: ELID研削, 軽量ミラー

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

軽量ミラーを仕上げ加工する際，ミクロンオーダーの微細砥石でも，表面にマイクロボイド及びマイクロクラックが発生する可能性がある．それを除去または改善するために，研削条件の最適化が効果的と予想される．そこで本研究は，3種の軽量ミラー材（CVD-SiC, Sintered-SiC, Zerodur)に対し，各条件においてELID研削した表面を原子間力顕微鏡にて評価し，研削条件の影響について検討したので報告する．

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）