フライアイミラーの超精密5軸制御加工 矩形要素の加工とその光学特性の評価

住田 貴之; 橋本 義則; 竹内 芳美; 河合 知彦; 沢田 潔; 瀧野 日出雄; 野村 和司

doi:10.11522/pscjspe.2003S.0.446.0

2003年度精密工学会春季大会

セッションID: I04

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2003S.0.446.0

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主催: 社団法人精密工学会

精密マイクロ機械加工技術（1）

フライアイミラーの超精密5軸制御加工

矩形要素の加工とその光学特性の評価

*住田貴之, 橋本義則, 竹内芳美, 河合知彦, 沢田潔, 瀧野日出雄, 野村和司

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キーワード: 超精密加工, 5軸制御, ダイヤモンド工具, フライアイミラー

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抄録

極端紫外光を用いた半導体露光装置用に提案された，円弧，矩形の球面ミラー約500個から構成されるフライアイミラーの超精密5軸切削加工についての研究である．同ミラーを効率よく，かつ高精度に加工するために，90°工具を用いて球面を切削する新しい加工法を提案し、無酸素銅を用いた切削実験において，目標の曲率を有する複雑形状ミラーを創生することができた．さらに，試作したフライアイミラーを用いて，光学特性の評価を行う．

責任著者(Corresponding author)

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