小型座標計測装置のための三次元接触角検出プローブの開発

抄録

小型三次元座標測定装置に搭載可能な接触式プローブの開発について述べる．本システムはプローブ先端球を三次元空間内に微小円運動させる機構を有しており，プローブと測定試料の接触信号と円運動の位相を比較することによって，プローブの接触方向角を三次元内で検出することが可能である．本講演では提案する原理の実証用マクロモデルを作成し，校正実験，形状測定予備実験を行った結果について報告する．