光逆散乱位相法による三次元微細加工形状計測に関する研究（第8報）

非周期形状の測定

抄録

本研究は，光学的フーリエ変換と位相回復アルゴリズムを応用し，ナノメートルオーダの精度で三次元微細加工形状をインプロセス計測することのできる，光逆散乱位相法の開発を目的としている．先に我々は，周期構造をもつ標準格子を試料に用いた検証実験を行った．本報告では，曲面を含む非周期形状に対して本手法を適用し，その有効性を確認したので報告する．測定試料はFIB装置を用いて作成した．測定の結果得られた三次元プロファイルは，AFMによって得られたものとよい一致を示した．