超精密平面ホーニングを用いた光学ガラスの高精度加工

抄録

平面ホーニング加工技術は高い加工能率、加工ダメージが小さい、高精度加工（平坦度、仕上げ面粗さ）など従来の遊離砥粒による研磨法にない優れた加工特性をもつ。今回、放射状砥石を用いて光学ガラスを加工しその加工特性を明らかにした。またこの加工技術を用いて3インチガラスウエハを10μmまで薄肉化し、光部品の製造プロセスとして基礎検討を行った。