水平多関節型位置決め機構の軌跡精度 円運動軌跡の測定と誤差補正

深田 茂生; 堀井 敏行; 田代 篤男

doi:10.11522/pscjspe.2003S.0.767.0

2003年度精密工学会春季大会

セッションID: N34

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2003S.0.767.0

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主催: 社団法人精密工学会

精密・超精密位置決め（1）

水平多関節型位置決め機構の軌跡精度

円運動軌跡の測定と誤差補正

*深田茂生, 堀井敏行, 田代篤男

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キーワード: 位置決め, 水平多関節型機構, スカラ型ロボット, 軌跡, 補正

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抄録

　SCARA型ロボットに代表される水平多関節型位置決め機構に対しては，PTPの位置決め精度ばかりでなく，連続軌跡（CP）精度の向上も期待される．これまでに手先の水平面内の位置決め精度をマイクロメートルレベルで連続的に測定するために交差格子スケールを用いる方法を提案してきた．本報では，本測定システムにより水平多関節型機構の手先の準静的な円運動軌跡精度を測定し，その測定結果から軌跡誤差を補正する方法について検討している．

責任著者(Corresponding author)

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