空間フィルタリングを用いた欠陥検査技術

抄録

半導体ウェハや液晶パネルのように素子の繰返しによって構成される製品は，空間フィルタリングによって高感度で検査が可能である。空間フィルタリングとはレンズのフーリエ変換作用を利用し，素子の繰返しパターンからの回折光を周波数領域でフィルタリングをする技術である。今回バネとエッチングプレートを使って高精度な機械式空間フィルタリング装置を作成したので報告する。