精密工学会学術講演会講演論文集
2004年度精密工学会春季大会
セッションID: B56
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高機能性砥石の開発(2)
Chemo-Mechanical Grindingに関する研究
第4報:sub-surface damegeの評価について
*熊谷 雄介江田 弘周 立波
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抄録
本研究は,研削工程に化学作用を積極的に取り入れたChemo-MechanicalGrindingを提案し,完全にダメージフリーの表面を創成する.はじめに,加工変質層の軽減におけるCMGの可能性を示す実験結果を記述する.この予備実験の結果に基づき,化学的に活性な砥粒とアルカリ性添加剤を含んだCMG砥石を開発した.本報告ではCMG加工表面の表面損傷の評価を行ったので、その結果について報告する.
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© 2004 公益社団法人 精密工学会
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