精密工学会学術講演会講演論文集
2004年度精密工学会春季大会
セッションID: B64
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主催: 社団法人精密工学会

ELID研削(1)
磁性流体研磨法(MRF)によるELID研削面の超精密仕上げ
*林 偉民, 大森 整, 渡邉 裕
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キーワード: ELID研削, 磁性流体研磨法, 加工精度, 加工面性状
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抄録
ELID研削加工部品に超精密仕上げ法として磁性流体研磨法(MRF)を用い、ELID研削面とMRF仕上げの加工面性状、形状精度について調査したので報告する。
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© 2004 公益社団法人　精密工学会
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