次世代大型天文望遠鏡の超精密ポリシング法に関する研究

第1報：小径ポリシングツールの走査によるミラー面超精密研磨

抄録

次世代大型天文望遠鏡開発の一環としてELID研削を施したミラー面の超精密ポリシング法に関して、小径ポリシングツールの走査によるミラー面研磨を検討したので報告する。