ダイヤモンド工具による単結晶シリコンの超精密加工状態監視

岩本 竜一; 近藤 英二; 市来 浩一; 皮籠石 紀雄; 大久保 徳之

doi:10.11522/pscjspe.2004S.0.310.0

2004年度精密工学会春季大会

セッションID: F04

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2004S.0.310.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

切削・研削加工における状態監視と制御(1)

ダイヤモンド工具による単結晶シリコンの超精密加工状態監視

*岩本竜一, 近藤英二, 市来浩一, 皮籠石紀雄, 大久保徳之

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キーワード: 監視, 超精密切削, ダイヤモンド工具, 切削, 旋削

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抄録

ダイヤモンド工具による脆性材料の超精密加工において,切込み量をある臨界量以下で加工すると延性モード加工が可能となることが知られている.しかし,この臨界切込み量は非常に小さいために,常に安定した加工を行うことは困難である.本研究では,脆性および延性モード加工をインプロセスで判別するための有効なパラメータを明らかにすることを目的とし,単結晶シリコンを超精密加工したときの切削抵抗,AE信号の関係を調べた.

責任著者(Corresponding author)

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