超マイクロドリルの製作と超音波振動穴あけ

抄録

直径10μm以下の超硬フラットドリルを精密研削により製作することができることを示し、それを用いて各種材料への超音波振動穴あけを試みる。また、ドリルの高精度化、高品位化を図る。