ダイヤモンド切削工具の機上ナノ計測に関する研究

元木 健順; 高 偉; 清野 慧

doi:10.11522/pscjspe.2004S.0.403.0

2004年度精密工学会春季大会

セッションID: G39

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2004S.0.403.0

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主催: 社団法人精密工学会

知的精密計測(2)

ダイヤモンド切削工具の機上ナノ計測に関する研究

*元木健順, 高偉, 清野慧

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キーワード: 原子間力顕微鏡, ダイヤモンド切削工具, 機上計測

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抄録

ダイヤモンド切削工具の形状精度と切れ刃稜の鋭さはいずれもnmオーダーであるため,微少な工具摩耗でさえも加工精度の経時的低下を招く.しかし,工具摩耗を工作機械上で計測し,結果を加工にフィードバックすることで,加工精度の低下を防ぐことができる.本発表では,自己検知型カンチレバーを用いた原子間力顕微鏡により,ダイヤモンド切削工具の3次元形状を機上計測し,摩耗前後の形状を比較した結果について報告する.

責任著者(Corresponding author)

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