非リンギング方式によるゲージブロックの次世代校正方法(第2報) ゲージブロックの線膨張係数測定

横山 雄一郎; 栗山 豊; 石井 恭; 石川 純; 尾藤 洋一

doi:10.11522/pscjspe.2004S.0.405.0

2004年度精密工学会春季大会

セッションID: G50

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2004S.0.405.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

知的精密計測(3)

非リンギング方式によるゲージブロックの次世代校正方法(第2報)

ゲージブロックの線膨張係数測定

*横山雄一郎, 栗山豊, 石井恭, 石川純, 尾藤洋一

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キーワード: ゲージブロック, ブロックゲージ, リンギング, 非リンギング, 線膨張係数, 寸法校正

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抄録

第1報では,光波干渉測定によるゲージブロック(以下GB)の中央寸法偏差測定および端面形状測定における測定の不確かさ低減とスループット向上を目的として開発した非リンギング方式によるGB校正装置について報告した.今回,不確かさの更なる低減と装置の応用化を目指し,この装置を用いてGBの線膨張係数測定を行った.その結果,過去の測定値と良い一致を得たので,これについて報告する.

責任著者(Corresponding author)

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