歯形測定機校正用原器のボール中心間距離測定装置の開発

抄録

歯形測定機の精度を2個のマスタボールを用いてnmオーダで校正する研究開発を行っている。この場合、ボール中心間距離の測定不確かさは100nm以下であることが要求される。この目的には、三次元測定機が一般的に用いられるが、測定精度が十分でなく、測定点数には限りがあり、ボールの形状偏差が大きな不確かさ要因となる。そこで、ボールの形状を連続的に測定し、形状偏差の影響を受けにくいボール中心間距離測定装置を開発した。