高アスペクト比微細形状測定用AFMプローブユニットの研究

抄録

近年、液晶パネルの導光板など高アスペクト比三次元微細形状をもつ部品が増えている。また、このような部品の精度向上には加工機上でのナノ計測が重要になる。本研究では、三次元微細形状の機上ナノ計測に対してAFMを適用することを考え、小型のリニアスケールを試料追従用アクチュエータの軸上に配置することで、アッベ誤差の影響を受けない変位補正機構を内蔵した、小型かつ高精度なAFMプローブユニットを開発した。