光ファイバを用いたナノCMMプローブの研究(第2報) 光ファイバレーザトラップの基礎特性解析

橋本 隆希; 三好 隆志; 高谷 裕浩

doi:10.11522/pscjspe.2004S.0.417.0

2004年度精密工学会春季大会

セッションID: G68

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2004S.0.417.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

知的精密計測(5)

光ファイバを用いたナノCMMプローブの研究(第2報)

光ファイバレーザトラップの基礎特性解析

*橋本隆希, 三好隆志, 高谷裕浩

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キーワード: CMM, 光ファイバ, レーザトラップ

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抄録

近年,深穴・深溝などのような高アスペクト比構造をもつマイクロ部品の3次元形状を測定する技術が求められている.そこで,本研究では光ファイバ放射光が発生する光放射圧により3次元的にレーザトラップした直径数μmの微粒子をCMMのプローブ球として用いることを提案する.本報では,FDTD法およびMaxwell応力理論に基づくシミュレーション解析を中心にファイバトラップの基礎特性について調査したので,これを報告する.

責任著者(Corresponding author)

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