2波長レーザ光ヘテロダイン干渉による段差測定

抄録

波長の異なる2つのレーザを用いて光ヘテロダイン干渉計を組むことにより、高分解能でかつ測定範囲の広い段差測定装置を組むことができる。本報では、測定の原理、光学系の構成について述べている。また、実際の測定装置を組み上げ、段差測定の線形性、再現性について実験を行い、測定範囲13μm、測定再現性3nmを得たことを述べている。