波長走査干渉計を用いた多面干渉計測

抄録

前報までに開発した、複数の透明な層からなる物体の界面形状や層の厚さ分布の測定手法を用いて、光学ガラスや光学結晶の板を積み重ねた試料にて実際に測定を行ない、最大で5面からなる多面干渉の状態で各面の形状や任意の面間の厚さ分布の測定に成功したので報告する。また、計測において実際上問題となる諸問題について、検討および対策を行なったので、これについても報告する。