FIB-CVD法によるDLCのコーティングおよびその機械的特性

抄録

ナノオーダーで三次元的に形状創生できる技術のひとつにFIB-CVD法がある。これによって、ナノメートルオーダーでの機械部品や材料コーティング等の用途が拓ける。ここで、堆積した膜はDLCとなることが知られているが、NEMS応用を考えたときに堆積膜の機械的特性が重要となる。本報では、硬さ試験等により機械的特性を調べたので報告する。