FIBによるマイクロ部品の作製

抄録

DLC膜は優れたトライボロジー特性を有しているが、コーティング可能な膜厚に制限がある。しかし、内部応力を低減することで、厚さ40μmの自立DLC体を得ている。さらに、FIBによるDLCの加工特性を検討した。本報告では、厚膜DLCよりFIB加工機を用いてマイクロ部品を作製し、実用化への検討をした。