バルク加工による円筒型圧電振動子を用いたマイクロ超音波モータの特性評価

抄録

　円筒型圧電振動子を用いた小型で高トルクのマイクロ超音波モータの実現を目標として、直径0.8mmの振動子を用いて予圧機構を含む直径2.0mm以下のモータを試作した。　バルク圧電体の微細加工による振動子は片端を固定した状態で使用する。共振周波数78kHz、印加電圧5V_ppにおいて振動速度165mm/s、振動変位337nm_pp の特性をもつ振動子を用いてモータの発生トルクと予圧の関係について測定している。