レーザによる微細穴加工装置の開発

抄録

電子機器などの工業製品の小型化が進む中で、一層の高密度実装技術が求められている。この実現のためには高精度で微細な穴加工技術の確立が急務であり、一定領域全面に、多数の微細な穴を短時間で安定的に加工できることが重要である。本報ではYAGの第3高調波を用いて、ガルバノ及びポリゴンミラーの組合せによって加工光学系を構築しこれを実現した。fθレンズの歪曲収差によって生ずる、理論値からの微小なずれは理論計算によって相殺することができる。