摩擦力顕微鏡(FFM)機構を利用した極微細加工に関する研究(第13報) マスク層の加工条件依存性

2004年度精密工学会春季大会

セッションID: L07

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主催: 社団法人精密工学会

マイクロ・ナノ加工とその応用(2)

摩擦力顕微鏡(FFM)機構を利用した極微細加工に関する研究(第13報)

マスク層の加工条件依存性

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抄録

　本研究は,摩擦力顕微鏡(FFM)機構によるナノスケールの機械加工と化学エッチングを併用した3次元微細構造の形成を目的としている.前報までに,加工条件により微細構造の高さを制御できることを示した.本報では,加工条件によるマスク層の変化を明らかにし,高さが変化するメカニズムについて考察した.