摩擦力顕微鏡(FFM)機構を利用した極微細加工に関する研究(第14報) 液中ナノ加工技術の開発

PARK Jeong-Woo; 川堰 宣隆; 森田 昇; LEE Deug-Woo; 山田 茂; 高野 登; 大山 達雄; 芦田 極

doi:10.11522/pscjspe.2004S.0.632.0

2004年度精密工学会春季大会

セッションID: L08

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2004S.0.632.0

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主催: 社団法人精密工学会

マイクロ・ナノ加工とその応用(2)

摩擦力顕微鏡(FFM)機構を利用した極微細加工に関する研究(第14報)

液中ナノ加工技術の開発

*PARK Jeong-Woo, 川堰宣隆, 森田昇, LEE Deug-Woo, 山田茂, 高野登, 大山達雄, 芦田極

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キーワード: 原子力顕微鏡, 液中ナノ加工, 単結晶シリコン, 加工用カンチレバー, 化学エッチング, 摩擦力顕微鏡

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抄録

本研究は,摩擦力顕微鏡(FFM)機構によるナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元微細構造の形成を目的としている.本報では,ナノスケール機械加工による酸化膜の発生とKOH水溶液によるエッチングを同時に発生させる3次元微細構造形成法を新たに提案し,その加工特性とメカニズムについて考察した.

責任著者(Corresponding author)

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