自己保持機能を有する光クロスコネクトスイッチの研究(第6報)

ミラー用磁性膜形成技術

抄録

前報まで、超音波モータを用いて自己保持機能を有する反射ミラー駆動型光スイッチの原理確認を行ってきた。本報では、反射ミラーを高精度に制御するために、Co-Pt磁性膜の形成・評価を行った。磁性膜はスパッタリングによりSi基板上に形成し、外部磁界をかけることで着磁した。磁性膜の組成・膜厚および膜面積をパラメータとして変化させて磁束密度を評価した。