変位縮小機構を用いた手動によるサブナノ分解能位置決め装置の開発

抄録

　本研究では弾性ヒンジから成る変位縮小機構を用いて表記装置を開発している.本報では,装置の原理,試作した装置の概略,縮小率の測定結果,位置決め分解能,熱的安定性の評価を行った結果について報告する.測定の結果,移動範囲3.4μm,分解能0.2nmの位置決めが可能であることを確認した.