弾性変形を利用した一体構造の変位縮小機構付き案内ステージについて

抄録

圧電素子の微小な出力変位を拡大して実用に供する試みは国内外で数多くなされてきているが、逆にこれを縮小してナノオーダの変位を得ようとする研究はこれまで数少ない。筆者らは弾性材料の弾性変形を利用して入力変位を縮小して微細な出力変位を得る方法を開発したので紹介する。機構が一体構造であるため単純で、しかも運動の再現性が極めて高いことが特徴である。微生物学の分野での案内機構として、またマイクロアクチュエータの微動操作などの分野への応用が可能となるであろう。