リニア·アクチュエータにおけるロバスト制御の効果

抄録

高精度な位置決めには、フリクションのない直動型空気軸受けと直線性の高いVCM(Voice Coil Motor)の組み合わせが有効である。しかしこのような直動型アクチュエータは、駆動方向の振動外乱の影響を受けやすいことが憂慮される。本研究では、このような外乱に対して、一般的なPDコントローラ及びロバストな制御手法であるH∞コントローラを用いて、外乱抑圧特性の比較を行い、位置決め精度向上への効果について調べた。