精密工学会学術講演会講演論文集
2004年度精密工学会春季大会
セッションID: M50
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精密・超精密位置決め(3)
加速度制御を付加した位置決め制御系の最適パラメータ設計
*二見 茂善利 淳臣金田 武志浜松 弘辻 輝生
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抄録
加速度制御を付加した位置決め制御系のパラメータは5つある.試行錯誤で設計したパラメータの場合にはオーバーシュートは無くすことができたが,1つのアンダーシュートが無くならなかった.タグチメソッドを用いて最適パラメータ設計を行った結果,オーバーシュートもアンダーシュートもない,整定が速い位置決め制御が実現された.
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© 2004 公益社団法人 精密工学会
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