結晶格子を基準とするSTM探針の安定トラッキング位置決め制御

外川 陽一; Rerkkumsup Pongpun; 本田 裕; 明田川 正人; 高田 孝次

doi:10.11522/pscjspe.2004S.0.720.0

2004年度精密工学会春季大会

セッションID: M52

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2004S.0.720.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

精密・超精密位置決め(3)

結晶格子を基準とするSTM探針の安定トラッキング位置決め制御

*外川陽一, Rerkkumsup Pongpun, 本田裕, 明田川正人, 高田孝次

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キーワード: サブナノメートル位置決め制御, 走査型トンネル顕微鏡, 結晶格子, 外乱

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抄録

本研究室では走査型トンネル顕微鏡(STM)の探針を結晶格子表面の原子頂点に位置決めする原子トラッキング制御を開発している.しかしこの位置決めは振動,音響,熱ドリフトなどの外乱に対する安定性が低い.これを改善するため,外乱に強いコントローラを設計した.本報では,制御系を安定化し,原子を基準としたトラッキング制御を行ったことを述べる.

責任著者(Corresponding author)

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