光学顕微鏡のビジュアルサーボシステム

藤森 友秀; 恩田 一; 大塚 二郎; 市川 宗次

doi:10.11522/pscjspe.2004S.0.722.0

2004年度精密工学会春季大会

セッションID: M54

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2004S.0.722.0

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主催: 社団法人精密工学会

精密・超精密位置決め(3)

光学顕微鏡のビジュアルサーボシステム

*藤森友秀, 恩田一, 大塚二郎, 市川宗次

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キーワード: 光学顕微鏡, XYステージ, ビジュアルサーボ, 超高速シャッターカメラ, フィードバック制御, 画像処理

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抄録

活発に移動する物体を光学顕微鏡で観察する時,その被観察物は視野から消えてしまう.本研究は,そのような被観察物を常に視野の中心に持ってくるようにするのが目的である.高速インテリジェントビジョンシステムという画像処理法を用いて,被観察物の視野における重心を求め,XYステージより成る栽物台にサーボを働かせることにより,被観察物として水性微小動物を視野の中心に保持することができた.

責任著者(Corresponding author)

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