Walking Driveを用いた3自由度球面モータの開発

抄録

著書らはWalkingDriveと呼ぶ新しい駆動方法を開発してきた。これは圧電素子を用いて長いストロークにわたる滑らかな送り動作を実現する超精密駆動方法である。本稿では、この手法を応用し、3自由度の球面モータを開発した。そして、位置決め実験を行い、本装置の特性を調べた。