超音波リニアモータを用いた小型ステージの開発

五嶋 裕之; 山本 悦夫

doi:10.11522/pscjspe.2004S.0.725.0

2004年度精密工学会春季大会

セッションID: M62

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2004S.0.725.0

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主催: 社団法人精密工学会

精密・超精密位置決め(4)

超音波リニアモータを用いた小型ステージの開発

*五嶋裕之, 山本悦夫

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キーワード: 超音波モータ, リニアアクチュエータ, 位置決め機構, 圧電アクチュエータ

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抄録

積層型圧電アクチュエータを用いた、2極‐1弾性体駆動方式のナノノレベルの分解能を持つ超音波リニアモータを開発した.本超音波モータは設計および構造の最適化により、高効率、高出力、高寿命を特徴としている.本報ではこのモータを用いて試作した,全厚14mmの小型・薄型ステージの概要および評価結果について報告する.

責任著者(Corresponding author)

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