マイクロピッチラックを用いた精密テーブルの研究

岩田 智之; 本田 智

doi:10.11522/pscjspe.2004S.0.726.0

2004年度精密工学会春季大会

セッションID: M63

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2004S.0.726.0

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主催: 社団法人精密工学会

精密・超精密位置決め(4)

マイクロピッチラックを用いた精密テーブルの研究

*岩田智之, 本田智

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キーワード: 精密位置決め, マイクロピッチラック, インチワーム, オープンループ制御

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抄録

オープンループ制御で,かつ,μmオーダの位置決め精度を持つ精密テーブルとして,ガイドレール側面にマイクロピッチラックを形成し,その上を1ピッチづつ噛み合わせながらテーブルを位置決めできるインチワーム型アクチュエータを考案試作した.本報では,マイクロピッチラックの製作結果およびインチワーム型噛み合わせ方式について報告する.

責任著者(Corresponding author)

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