ボールねじの予圧制御による粗微動送り方式の微動特性

中島 克洋; 木山 浩; 高藤 和樹; 田丸 雄摩

doi:10.11522/pscjspe.2004S.0.727.0

2004年度精密工学会春季大会

セッションID: M64

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2004S.0.727.0

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主催: 社団法人精密工学会

精密・超精密位置決め(4)

ボールねじの予圧制御による粗微動送り方式の微動特性

*中島克洋, 木山浩, 高藤和樹, 田丸雄摩

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キーワード: 超精密位置決め, ボールねじ, 粗微動, 予圧変化, 微動特性

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抄録

　予圧ダブルナットにおいて,予圧を変化させるとねじ内各部に弾性変形が生じ,その結果ナットは微小変位する.ボールねじ送りにおいて,ナノメータオーダの超精密位置決めを比較的簡単に実現するために,この微小変位を微動に利用する粗微動送り方式を考えた.ここでは,本方式を組み込んだ送り装置を用い,微動特性に焦点を当てて調べた.その結果,1000nmから0.5nmまでの広い範囲にわたる微動ステップ送りが確認できた.

責任著者(Corresponding author)

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