微細作業におけるセンシングツールと操作性に関する考察

抄録

一般的に電子顕微鏡を用いた微細作業は、オペレータのスキルを要するとともにオペレータに与える作業負担も少なくない。しかしながら画像情報のみから得られる情報には限界があり、駆動系は十分な精度と応答性を持ちながらも、結果的に対象とする作業は比較的単純なものに限られるのが現状である。この問題を解消するには力覚・触覚のフィードバックが不可欠でありそれを支援するためのツールの開発が重要性を増している。本報告では力覚フィードバックに関わるセンシングツールおよびそれを用いた実験結果を中心に述べる。