3慣性系の相対変位の発生要因とその低減方法

山極 高; 石川 修弘; 荻原 元徳; 白石 昌武

doi:10.11522/pscjspe.2004S.0.737.0

2004年度精密工学会春季大会

セッションID: M76

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2004S.0.737.0

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主催: 社団法人精密工学会

ロバストなセンシングand/or制御への挑戦

3慣性系の相対変位の発生要因とその低減方法

*山極高, 石川修弘, 荻原元徳, 白石昌武

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キーワード: 3慣性系, ロバスト, 振動モード

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抄録

数値制御装置により制御される空間走査機構は,その各軸がモータ,送り機構,移動機構より構成され,制御に際しては各要素間が有限な剛性により結合されることにより生じる振動の抑制が課題となる.産業応用において,実際に遭遇する振動問題の解決のためには3慣性モデルに基づく検討が必要であり,この3慣性モデルにおける慣性間の振動の発生要因とこれを低減する方法について報告する.

責任著者(Corresponding author)

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