ボールねじ駆動テーブルシステムのロバスト高速·高精度位置決め

抄録

テーブル駆動システムでは,駆動条件に応じた機構共振の周波数変動がシステムの安定性や制御性能に影響を与える。そのため,高速・高精度位置決めの実現には想定範囲の駆動条件変化に対するロバスト性を確保することが必須である。本論文では,ボールねじ駆動テーブルシステムに対する位置決め制御系のフィードバック補償器をH∞制御により設計し,駆動初期位置や負荷重量に対してロバストな高速・高精度位置決めの実現をみた。