精密工学会学術講演会講演論文集
2004年度精密工学会春季大会
セッションID: B18
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研磨加工技術の新展開(2)
紫外線励起によるマシニングの研究(第5報)
紫外線照射下の動的実験
*千巖 吉彦田中 武司
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キーワード: 紫外線, ルミネッセンス
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抄録
 本研究はルミネッセンス現象をナノマシニングの応用しようとする研究である.静的実験として,紫外線照射下ではCuと紫外線励起溶液の反応が促進されることがわかった.本報では,製作したCu加工面に紫外線を照射できる動的実験装置で,紫外線励起溶液によって加工した結果について報告する.
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© 2004 公益社団法人 精密工学会
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