片側パターン電極を用いた電気粘性流体援用研磨法に関する研究(第2報) 粒子系電気粘性流体を用いた場合の研磨性能

2004年度精密工学会春季大会

セッションID: B19

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主催: 社団法人精密工学会

研磨加工技術の新展開(2)

片側パターン電極を用いた電気粘性流体援用研磨法に関する研究(第2報)

粒子系電気粘性流体を用いた場合の研磨性能

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抄録

本研究は,従来の両側電極に代わり,片側パターン電極を用いる電気粘性流体援用研磨法を提案し,前報でその有用性を報告した.本報では,粒子系電気粘性流体を用いた場合の研磨性能について報告する.具体的には,印加電圧,パッド,被削材,砥粒等の変化による研磨性能への影響などを報告する.