研磨ペーストを用いた複合粒子研磨法

抄録

研磨パッドの使用による諸問題に対して、パッドの代わりにポリマ微粒子を用いた「複合粒子研磨法」が提案され,また水系および油系分散媒を用いた複合粒子鏡面研磨法も共に開発されている。本論文では研磨ペーストを用いた場合,研磨ペーストの中にキャリア粒子を導入することによって、研磨特性が向上することを実現したため、その結果を報告する。