電鋳技術を利用した水晶両面研磨用キャリアの簡易製造法

抄録

水晶振動子は両面研磨機によって薄膜化加工が行われており、この際キャリアと呼ばれる保持具が必要となる。水晶振動子の薄膜化に際して、キャリアも相応の厚みが求められており、現在は長時間の研磨加工によりこれを得ている。しかしこのキャリアはあくまで消耗品であり、長時間の研磨加工は非常に非効率的であると言える。本研究ではキャリアの製造時間の短縮とそれに伴った効率化を目指し、電鋳技術を利用した製造法を提案する。