テクスチャを利用した微粒子の自己整列

茂木 通宏; 金子 新; 諸貫 信行

doi:10.11522/pscjspe.2005S.0.300.0

2005年度精密工学会春季大会

セッションID: F38

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2005S.0.300.0

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主催: 社団法人精密工学会

マイクロ・ナノ加工とその応用(5)

テクスチャを利用した微粒子の自己整列

*茂木通宏, 金子新, 諸貫信行

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キーワード: ぬれ性, 幾何形状, 微粒子, 自己整列

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抄録

Si基板に微細加工を施して表面幾何パターンを形成し,このパターンに倣った微粒子の自己整列を試みている.表面幾何パターンは液体に対するぬれ性ならびに懸濁液中の微粒子挙動に影響を及ぼす.疎水化した基板表面に深さ数10nm,幅数μmの溝構造を形成し,この基板を直径1μmのポリスチレン微粒子が分散した懸濁液から引き上げた結果,溝底面に微粒子を単層で整列させることができた.

責任著者(Corresponding author)

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