集束イオンビームによる石英の露光

抄録

集束イオンビームを石英に照射し露光を行い、その後現像液で現像を行ったところ、浅いピットが確認された。電子ビームの場合はこのような現象が起こらないので、イオンによる照射効果が石英を現像液に可溶にしたと考えられる。また、ピット形成をする場合には、集束イオンビームを用いた直接加工に比べて加工速度が速いといった特徴がある。