精密工学会学術講演会講演論文集
2005年度精密工学会春季大会
セッションID: A69
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表面ナノ構造・ナノ計測(2)
高周波パルスSTMの開発—ロックインアンプを用いた新しい制御系—
竹本 慎太朗*岡本 亮太稲垣 耕司遠藤 勝義
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抄録
本研究の目的は、絶縁体表面の原子構造および電子状態を走査型トンネル顕微鏡で観察する、高周波パルスSTMを開発することである。本装置では、交流でバイアス電圧を印加することで生じる浮遊容量の問題を探針―試料間のバイアス電圧を高周波の矩形パルスで与え、外部検出回路に工夫を加えることで解決した。ここでは、新しく導入した高い動剛性のスキャナーを持つ高周波パルスSTM装置を紹介するとともに本装置の性能について報告する。
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© 2005 公益社団法人 精密工学会
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