静電容量型小型傾斜角センサ

抄録

微細加工技術を用い、電極間距離40um、電極面積12mm²の静電容量型小型傾斜センサを開発した。本センサは、傾斜角に応じたシリコーンオイルの移動により生じる静電容量の差を検出するが、電極間ギャップが狭いためその表面張力が問題であった。そこで、微小流路内へのオイル注入構造とオイル水平面保持構造に工夫を凝らすことにより表面張力の問題を解決し、小型化を達成した。