非軸対称複雑非球面形状加工のための6軸超精密加工装置の開発 各機構要素の基礎的特性

山形 豊; 鈴木 浩文; 樋口 俊郎; 大森 整; 宗片 睦夫; 飯田 克彦; 吉田 和史; 牧野 俊清

doi:10.11522/pscjspe.2005S.0.477.0

2005年度精密工学会春季大会

セッションID: I66

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2005S.0.477.0

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主催: 社団法人精密工学会

曲面・微細形状・機能性材料の超精密加工と計測(2)

非軸対称複雑非球面形状加工のための6軸超精密加工装置の開発

各機構要素の基礎的特性

*山形豊, 鈴木浩文, 樋口俊郎, 大森整, 宗片睦夫, 飯田克彦, 吉田和史, 牧野俊清

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キーワード: 超精密加工, 非球面形状, 多自由度工作機械

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抄録

近年の光情報機器の進歩に伴い、非軸対称な非球面形状を持つ金型を超高精度に形成する必要性が増大している。こうした要求に応える為リニア—モーターを採用した5軸超精密加工装置をベースとし、大型圧電アクチュエータによる高速駆動軸を備えた6軸超精密加工機の開発を行っている.本報では装置開発の目標と各部の基礎的な駆動特性等について報告を行う.

責任著者(Corresponding author)

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