マイクロレンズアレイ金型の超精密切削加工(第2報) 斜軸切削加工法による補正加工の試み

小林 裕一; 柴田 順二; 鈴木 亨; 森田 晋也; 劉 慶; 大森 整; 林 偉民; 石川 惣一

doi:10.11522/pscjspe.2005S.0.475.0

2005年度精密工学会春季大会

セッションID: I64

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2005S.0.475.0

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主催: 社団法人精密工学会

曲面・微細形状・機能性材料の超精密加工と計測(1)

マイクロレンズアレイ金型の超精密切削加工(第2報)

斜軸切削加工法による補正加工の試み

*小林裕一, 柴田順二, 鈴木亨, 森田晋也, 劉慶, 大森整, 林偉民, 石川惣一

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キーワード: マイクロレンズアレイ, 金型, 超精密切削加工, 斜軸切削加工法, 面粗さ, 形状精度

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抄録

切削加工法によるマイクロレンズアレイ金型の形状精度の向上を目的とし,斜軸切削加工法による加工実験を行い,実験結果(形状精度,表面粗さ)の比較検討を行った.その結果,斜軸切削加工法を用いた場合,斜軸を用いない従来の方法と比較して形状精度向上にに有効であるという結果を得た.しかし,工具の設計値からの曲率半径誤差が加工形状精度に影響し形状誤差が生じた.そこで第2報では,工具の曲率半径誤差から工具経路を補正し加工実験を行ったので報告する.

責任著者(Corresponding author)

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