フェムト秒レーザーにより加工したGC型による耐熱性ガラスの大面積微細ホットエンボス成形

抄録

これまで、ガラスの微細成形用型の加工法としてFIB加工を取り上げた。FIB加工は高精度の加工が出来る反面、大面積加工に難がある。そこで、大面積加工について幾つかの型加工法を試みた。そのひとつとして、フェムト秒レーザーを用いて型加工を行った。加工した型を用いて耐熱性ガラスのホットエンボス成形を行い、成形条件(加熱温度、加圧力、加圧保持時間等)とガラス製品精度との関係を求めた。